产品描述
PS3L45-030U系列是具有纳米级定位分辨率的高速,多轴,精密纳米定位系统。本系列产品提供最大的多功能性,可以配置XY或XYZ运动并拥有独立的Z/X轴运动产品。可选配内部位置传感器进行闭环,可进行重复的位置测量。
超薄型设计,外形尺寸仅有45x45x23.5mm,具有体积小巧,高稳定性,高精度使其非常适合需要低噪声和高速性能的计量应用。适用于空间需求的多轴运动定位场合。参数可根据客户要求定制。
PS3L45-030U系列纳米位移台内部可集成SGS位置传感器,闭环采用全闭环设计,高精度柔性系统,具有零摩擦等特点,使其具有更高的定位精度及线性精度。
压电位移台可提供SGS传感器反馈或无反馈(开环)。 对于需要紧凑的尺寸,高动态性和亚纳米级的定位分辨率,但又不需要绝对的定位精度和可重复性的应用,开环提供了一种经济高效的选择。 在通过外部反馈源(干涉仪,视觉系统,光电探测器等)控制压电位置的情况下,也可以使用开环设计。
产品特性
—XYZ位移30μm
—多种负载安装孔位
—亚纳米范围内的高分辨率
—高度紧凑的设计带来很好的性能
选配功能
—可定制孔位及转接装置
—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度
—可选配闭环(SGS) 位置反馈系
—可提供X/XY/XZ版本
应用领域
—原子力显微镜、扫描探针显微镜
—测量、计量
—光学探针、光学扫描、光束对准
—微流体技术
X、Y、Z轴压电陶瓷纳米台-上海纳动纳米位移技术有限公司